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製品・事業領域紹介半導体編

見えないところで、私たちの役に立っている半導体。そして、さらに見えないところで、その半導体の役に立っているのが、日立化成の“CMPスラリー”です。CMPスラリーの役目は、半導体製造工程で生じる不要な凸部を、“塗粒”と呼ばれる研磨用の小さな粒で削って研磨すること。日立化成はその性能をさらに進化させ、研磨スピードを落とすことなく、研磨時に発生する傷の量が従来の3分の1、平坦化性が2倍になった“セリア系CMPスラリー”の開発に成功しました。目立たないけど、大切で、すごい。そんなテクノロジーで、私たちは驚きを実現していきます。


東海道新幹線 車内デッキ部掲出

※正しい漢字は「半導体」です。

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