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新語辞典凹凸感知研磨編

〔用途〕

半導体ウェハー配線板の研磨

〔特長〕

半導体の回路形成で生じた凹凸を、高精度に歩留まりよく磨く技術。平坦部を傷つけることがないよう、凸部だけを選択して研磨作業を働かせる、独自の研磨材を開発し実現。


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