ソリューション

ホームソリューション高透明感光性フィルム

センサー上の光学部品の位置合わせを、パターニングプロセスが解決!
高い可視光透過率の感光性フィルム

高透明感光性フィルム

対象業種

電子部品メーカー

用途想定

LiDAR/イメージセンサー/ミラーデバイス

電子部品の機能向上に伴い、その構造の精緻さは日々進化を続けています。イメージセンサーもそのひとつで、今や写真撮影のみならず、モバイルデバイス・自動車と用途を広げながら、精緻なセンサーの開発が進められています。
イメージセンサーには、センサーに入る光を制御するため、ミクロンオーダーで形成されたガラスレンズや光導波路が、無機系基板上にやはりミクロンオーダーの精緻さで配置されています。基板上にこれら精密なガラス部品を精緻に配置する工程は、高度な位置合わせ技術が求められる、難易度が高い工程です。
弊社が開発した高透明感光性フィルムは、パターニングプロセスによって基板上に直接レンズ、光導波路といった微細な光学部品を形成することができます。イメージセンサー製造プロセスにおける、光学部品と基板の位置合わせ精度を向上し、プロセス改善に貢献します。

課題解決

微細な光学部品をパターニングプロセスで形成

イメージングセンサーには、数µmから数十µmの大きさで形づくられたレンズや光導波路が、無機系材基板上に、数µmの位置精度で「配置」されています。それら個別の部品を、基板上へ「配置」するには、熟練した非常に精緻な位置合わせ技術が必要でした。
弊社が開発した高透明感光性フィルムを、無機系基板上にラミネートし、露光・現像・エッチングを行うことで、個別の部品を「配置」することなく、パターニングで基板上に「直接形成」することができます。
高透明感光性フィルムを用いて、球状や、高アスペクト比(最大40)の柱状構造物が形成でき、それらは、可視光領域で90%以上の透過率を有します。

シリコン基板上に高透明感光性フィルムを用いて作製された厚み19.3µmのレンズ形状透明構造体断面写真

Line/Space=20/30µm、厚み100µmの透明構造体写真

特長

高解像度の厚膜フィルム

200µmの厚みの構造物を、一括露光・現像で形成

高透明感光性フィルムは優れた解像度を有します。イメージセンサーで求められる数百µmの厚みを持つ透明構造体を形成することができます。
ご提供するフィルム厚みは50µmですので、お客さまの所望の膜厚までラミネーションを繰り返す必要がありますが、一回の露光・現像プロセスで構造物を形成することができます。

様々なパターンを形成可能

膜厚50µm以上の厚膜で様々なパターンを形成可能です。

20~60µm、厚み200µmの透明構造体

Line/Space=5~25/50µm、
厚み200µmの透明構造体

優れた透明性

可視光、近赤外領域において、高い透過率を有します。
構造体の厚み違いによる透過率比較

 

365nm

400nm

550nm

800nm

厚み50µm

79.8

92.9

99.8

100.2

厚み100µm

67.1

89.4

99.6

100.2

厚み200µm

49.2

84.9

100.0

100.2

単位:%

耐熱性が高く、125℃の高温環境下で1000時間の耐熱試験後も透過率を維持します。
厚み100µmの構造物の透過率比較(125℃×1000時間前後)

 

365nm

400nm

500nm

800nm

1100nm

初期値

67.1

89.4

99.6

100.2

100.2

1000時間後

59.2

83.9

98.1

99.8

100.0

単位:%