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セラミックス アルミナセラミックス「ハロックス」

アルミナセラミックス「ハロックス」のイメージ図

「ハロックス」は高純度で微細な結晶を均一・緻密に結合させたアルミナセラミックスです。その硬度はサファイア、ルビーと同じで、優れた耐摩耗性を持っています。また、電気絶縁性、耐熱性、耐薬品性にも優れ、最もポピュラーなファインセラミックスとして多彩な用途で活躍しています。

特長

  • 複雑、大型形状品の製作が可能です。
  • 精密加工、高精度加工に対応できます。
  • 高い機械的強度(曲げ、圧縮)を有しています。
  • 化学薬品に対する安定性、高温における耐食性に優れています。

用途例

  • 精密部材・・・・・・・・・半導体製造装置、液晶製造装置、精密ステージの構成部材
  • 耐摩耗機械部品・・・メカニカルシールリング、軸受、研削盤
  • 耐薬品性部品・・・・・腐食性流体の配管部材、バルブ、ポンプ部品、ノズル

応用例

液晶製造装置用セラミックステーブル

特長

  • 金属や石よりも、剛性が高く、大型品でも平面、平行度を出すことが可能です。
  • 撓み(たわみ)による精度劣化を改善することに役立ちます。
  • 金属で問題となるワークとの摩擦による消耗がなく、長期的な安定性に優れています。
  • 金属や石よりも剛性が高く、密度が低いため、薄肉化による軽量化が可能です。

液晶製造装置用セラミックステーブル

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