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ウエハー研磨パッド用13-270

熱活性形 ウエハー研磨パッド用13-270のイメージ画像

半導体ウエハーや液晶ガラス研磨用パッドを、研磨機定盤へ固定するための接着テープです。

特長

  • 液状プライマを塗布しないで、ウレタンパッドに熱接着が可能です。
  • 研磨機定盤への粘着性が良好です。
  • 再剥離可能です(スラリーで研磨終了後)。
  • 耐アルカリ性が良好です。

製品の構成

製品の構成のイメージ画像

使用箇所

使用箇所のイメージ画像

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