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感光性フィルム「フォテック」ダイレクトイメージング用RDシリーズ

ダイレクトイメージング用RDシリーズのイメージ画像

ダイレクトイメージング(直接描画)方式に適した、高感度・高解像度で露光後1分で目視認可能な高イメージング性も魅力の感光性フィルムです。

特長

  • 高解像度と優れたレジストはく離性でセミアディティブ工法に対応(RD-1225)。高感度と優れた小径テンティング性を実現(RD-2015)。
  • 355nm、405nmの直描露光機に使用可能なマルチパーパス性、描画箇所の目視確認が可能な高イメージング性も魅力。
感光特性
項目 単位 RD-2015 RD-1225
膜厚 μm 15 25
露光機波長 nm 355 *1 405 *2 355 *3 405 *4
露光量 mJ/cm2 20〜40 30〜60 70〜135 60〜120
推奨硬化段数 x/41ST 11〜17 11〜17 20〜26 12〜18
解像度 (x/x) μm 15 14 8 8
密着性 (x/3x) μm 15 14 8 8
*1:
Paragon-9000m(日本オルボテック殿)
*2:
DE-1AH(ビアメカニクス殿)
*3:
Paragon-Ultra(日本オルボテック殿)
*4:
DE-6UH(ビアメカニクス殿)

レジスト形状


RD-2015


RD-1225

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