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感光性フィルム「フォテック」ダイレクトイメージング用SLシリーズ/DLシリーズ

ダイレクトイメージング用SLシリーズ/DLシリーズのイメージ画像

ダイレクトイメージング(直接描画)方式に適した、高感度・高解像で優れたテント性を有する感光性フィルムです。

特長

SL-1800シリーズ

  • 直描露光方式(光源:355nm)に適した感光性フィルムです。
  • 感度が高く、密着性・解像度が良好で、高密度回路の形成性に優れます。
  • テント性に優れ、歩留まり向上に貢献出来ます。

SL-1900シリーズ

  • 355nm(i線)の直描露光機で9〜20mJ/cm2(推奨露光量)の高感度に加え、良好な密着性・解像度を実現。
  • 優れたテント性を有し、歩留まり向上に貢献します。

DL-9000シリーズ

  • 直描露光方式(光源:405nm)に適した感光性フィルムです。
  • 感度が高く、密着性・解像度が良好で、高密度回路の形成性に優れます。
  • 小径テント性に優れ、歩留まり向上に貢献出来ます。
感光特性
製品 SL-1800 SL-1938 DL-9000
用途 小径テンティング テンティング 小径テンティング
膜厚 μm 20 25 29 38 20 25
露光量 (ST=17/41) mJ/cm2 12 13 15 14 16 17
密着性 (ST=17/41) x/400μm 17.5 20 22.5 30 20 22.5
解像度 (ST=17/41) 400/xμm 15 17.5 20 27.5 18 20
使用露光機 Paragon-9000m (日本オルボテック(株)) DE-1UH(ビアメカニクス(株))

レジスト形状


SL-1938 (L/S=50/50μm)


SL-1820 (L/S=30/30μm)


SL-1825 (L/S=30/30μm)


SL-1829 (L/S=30/30μm)

 


DL-9020 (L/S=30/30μm)


DL-9025( L/S=30/30μm)

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