以下は、ページ内を移動するためのリンクです。

感光性ソルダーレジストフィルム「レイテック」 PKG用FZシリーズ

感光性ソルダーレジストフィルム「レイテック」PKG用FZシリーズのイメージ画像

PKG用に開発された、HAST耐性、TCTクラック耐性に優れた信頼性の高いドライフィルムタイプの感光性ソルダーレジストです。

特長

  • 優れたHAST耐性、TCTクラック耐性を有する高信頼性のフィルムです。
  • 表面平滑性、薄膜化と低そり性を実現。
  • 高解像且つ、直描露光機に対応可能。
感光特性
項目 条件 単位 FZ-2700GA
露光量*1 ST=11/41 mJ/cm2 250
解像度*2*3*4 丸穴抜き μmφ 40
Tg TMA / DMA 150-160 / 180-190
CTE(α1 / α2) TMA ppm/℃ 32 / -
弾性率 引張り試験 S-S, 23℃ MPa 3000-4000
引張り強度 MPa 100
伸び率 % 4.5
HAST耐性 130℃/85%RH/6V/200hrs - Pass
(L/S = 8 / 8μm)
TCT耐性 -65℃/150℃/1000cycles - Pass
フィルム膜厚は応相談
*1:
41段ステップタブレット(フィルムマスク)
*2:
フォトマスク:日立レイテック用テストパターン(フィルムマスク)
*3:
平行光線露光機、ST=11/41
*4:
フィルム膜厚:15μm


FZ-2700GA(膜厚:15μm)のΦ40μm開口形状


FZ-2700GAのHAST結果

  • ページトップへ