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感光性絶縁膜用塗布材料 AHシリーズ

感光性絶縁膜用塗布材料 AHシリーズのイメージ画像

AHシリーズは、低温硬化性を有する塗布型の感光性絶縁材料です。フォトリソグラフィによるパターン形成ができ、低温硬化でも優れた硬化膜物性を有します。

特長

  • ポジ型感光性を有しており、アルカリ水溶液 (2.38% TMAH) で現像できます。
  • 低温 (≦200 ℃) 硬化性を有します。
  • 良好な硬化膜特性を有します。
  • 半導体パッケージの絶縁層へ適用可能です。

特性例

項目 単位 AHシリーズ
膜厚 μm 2〜20
最適露光量* mJ/cm2 400
硬化温度 180〜200
ガラス転移温度 >200
弾性率 GPa 2.0
伸び率 % 50
熱膨張係数 ppm/℃ 58
残留応力 MPa 20
*
硬化後膜厚10um

AHシリーズの硬化パターンの断面


硬化パターン形状の異なる製品を取り揃えております。

AHシリーズのWL-CSP用再配線絶縁層への適用例


AHシリーズのWL-CSP用再配線絶縁層への適用例

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