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ダイボンディングフィルム ダイシング・ダイボンディング一体型フィルム

ダイシング・ダイボンディング一体型フィルムのイメージ画像

FHシリーズはダイシングテープとダイボンディングフィルムの機能を併せ持つ一体型フィルムです。ウェーハ裏面へのフィルムの貼付けを一度に行うため、お客さまの製造工程の短縮に貢献し、薄型ウェーハのハンドリングを容易にします。

特長

  • ダイシング性、ピックアップ性に優れています。
  • 低温でのウェーハ裏面貼付けに対応できます。
  • ダイボンド後、熱硬化なしにワイヤボンドが可能です。
  • 耐はんだリフロー性に優れています。

特性(測定値の一例)

項目 単位 FH-900 FH-9011 試験条件
フィルム厚み μm 10,20,25,40 10,20,25,40 -
DCテープ特性 推奨UV照射条件 mJ/cu 150〜400 150〜400 -
DC/DB
間剥離力
UV前 N/25mm 1.4 1.4 -
UV後 N/25mm <0.1 <0.1 -
ウェーハ貼付け温度 60〜90 60〜80 -
ダイボンディング条件 温度 100〜160 100〜160 -
圧力 MPa 0.05〜2.0 0.05〜2.0 -
引張り弾性率(35℃) MPa 200 200 DMA
ガラス転移温度 180 180 TMA
ダイシェア強度(260℃) N/chip >100 >100 5×5mmチップ

使用プロセス

使用プロセス

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